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Research研究内容


微細加工技術

微細な構造やメカを創り出し、これを様々な現象の制御に応用するという研究を行っている当研究グループにとって、加工技術は研究の最も重要な基盤となります。 フォトリソグラフィーに代表される光加工技術が代表的な手法として位置づけられ、これに関してはそれなりの拘りを持って技術開発にも取り組んでいます。 一方、光加工技術は100μm以下の微細な構造を作るのは得意としていますが、案外これ以上(数100μm~mm)の大きな(?)構造を作るのは得意ではありません。 このような、既存の技術では加工が容易では無い領域であっても、化学反応のための反応器や試薬の一時的な蓄積容器としては、この寸法領域の構造が求められることは実は多いです。 つまり、当研究グループの研究ではデバイスサイズ数cmから数μmという5桁にも及ぶ幅広い構造を一括加工する技術が求められるという特殊性があります。 このような、技術を実現するために各自がアイデアを出し合いユニークな加工技術が日々生み出されています。 動画は当研究室で独自に開発された加工技術を応用することで、作製した曲面形状を有するマイクロ流路の事例です。 曲面を形成しなければマイクロ流路の中に気泡が残ってしまうのに対し、曲面を形成することにより、気泡の残りにくい流路が実現できることが示されています。 この特性は精密な化学反応を実現する上で非常に重要なものです。

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